التشخيص الطيفي للبلازما لمادة خامس اوكسيد الفاناديوم في الترذيذ الماكنتروني بالترددات الراديوية مع تغير طاقة التشغيل والضغط

الملخص

             في هذا البجث، تم التحقق من الخصائص الأساسية لبلازما الترذيذ الماكنتروني باستخدام الهدف V₂O₅. تم إنتاج البلازما باستخدام الترذيذ الماكنتروني ببمجهز طاقة بالترددات الراديوية وغاز الاركون. تم قياس شدة الانبعاث الضوئي من الذرات والجذور في البلازما باستخدام مقياس الطيف الضوئي البصري، وكانت القمم التي ظهرت في جميع الأنماط متطابقة مع خطوط معيارية من قاعدة بيانات( NIST ) وتستخدم لتقدير معلمات البلازما لحساب كثافة الإلكترونات و درجة حرارة الإلكترون. تمت دراسة خصائص البلازما في ظروف التفريغ المختلفة. طاقة الترددات الراديوية تتراوح من 75 إلى 150 واط وضغط الغاز( 0.03 ، 0.05 و 0.007) تور. وجدنا أن كثافة خطوط الانبعاثات تزداد مع زيادة طاقة الترذيذ . و أن درجة حرارة الإلكترون زادت من   )0.95  إلى  1.11) الكترون فولت عندما زاد ضغط غاز التفريغ من 0.03 إلى 0.05 تور.من جهة أخرى زادت درجة حرارة الإلكترون من ( 0.9  إلى  1.01 ) الكترون فولت مع زيادة طاقة الترذيذ من 100 إلى 125 واط ، بينما تنخفض كثافة  الإلكترون من(5.4  –  4.5) x10¹⁴ cm^-3  مع زيادة طاقة الترذيذ. ايظا كثافة الإلكترون  تنخفض من  x10¹⁴ cm^-3(2.80 -  4.25) مع زيادة الضغط ، ولكن اقصى قيمة لكثافة الإلكترون كانت ³ cm^- x10¹⁴ 5.9 عند ضغط  0.03 تور .